Materiale del film conduttivo trasparente ITO
TCO ha una vasta gamma di applicazioni, utilizzata principalmente nei settori degli elettrodi trasparenti di display a cristalli liquidi, schermi touch, schermi flessibili OLED, componenti Opical WaveGuide e celle solari a film sottile.
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L'applicazione di ITO in vari campi ruota attorno alle sue eccellenti proprietà della trasparenza e della conduttività. Le proprietà ottiche dei film ITO sono principalmente interessate da due fattori: il divario della banda ottica e la frequenza di oscillazione del plasma. Il primo determina l'intervallo di assorbimento spettrale e quest'ultima determina la gamma di riflessione spettrale e l'intensità. In generale, ITO ha una maggiore assorbimento nella regione di lunghezza d'onda corta, una maggiore riflettività nella gamma di lunghezze lunghezze lunghezze e più alta trasmissione nel range luminoso visibile. Assunzione di 100nm ito come esempio, la trasmissione media nell'intervallo di lunghezza d'onda 400-900nm è fino al 92,8%.
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La performance del film ITO è determinata principalmente dal processo di preparazione, e il trattamento termico viene spesso utilizzato come mezzo di ottimizzazione ausiliaria. Per ottenere un film ITO con una buona conduttività, un'elevata trasmissione e morfologia di superficie piatta, è necessario selezionare metodi di deposizione appropriati e ottimizzare i parametri di processo. I metodi di rivestimento comuni includono l'evaporazione del fascio di elettroni e la sputtering del magnetron.
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Il principale principio dell'evaporazione del fascio di elettroni: in un ambiente ad alto vuoto, gli elettroni ad alta energia emessi dalla pistola elettronica bombarranno la superficie del materiale bersaglio ITO sotto l'azione del campo elettrico e del campo magnetico per convertire l'energia cinetica in calore Energia e il materiale bersaglio si riscalda e diventerà uno stato fuso o evapora direttamente. , Il film ITO viene depositato sulla superficie del substrato.
La sputtering del magnetron appartiene alla categoria di scarico bagliore e utilizza il principio del catodo sputtering per il rivestimento. Le particelle cinematografiche provengono dall'effetto di sputtering del catodo degli ioni di argon sul materiale del target ito catodo nella scarica di bagliore. Dopo che gli ioni di argon sputano giù gli atomi bersaglio, vengono depositati sulla superficie del substrato per formare il film ITO richiesto.