Material de filme condutor transparente ITO
O TCO tem uma ampla gama de aplicações, usadas principalmente nos campos de eletrodos transparentes de exibições de cristais líquidos, telas de toque, telas OLED flexíveis, componentes de onda óptica e células solares de filme fino.
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A aplicação do ITO em vários campos gira em torno de suas excelentes propriedades de transparência e condutividade. As propriedades ópticas dos filmes ITO são afetadas principalmente por dois fatores: a lacuna de banda óptica e a frequência de oscilação do plasma. O primeiro determina o intervalo de absorção espectral, e este último determina a faixa de reflexão espectral e a intensidade. Em geral, o ITO tem maior absorção na região de comprimento de onda curta, maior refletividade na faixa de comprimento de onda longa e maior transmitância na faixa de luz visível. Tomando 100nm ITO como exemplo, a transmitância média na faixa de comprimento de onda 400-900nm é tão alta quanto 92,8%.
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O desempenho do filme do ITO é determinado principalmente pelo processo de preparação, e o tratamento térmico é freqüentemente usado como meio de otimização auxiliar. Para obter um filme ITO com boa condutividade, alta transmitância e morfologia de superfície plana, é necessário selecionar métodos de deposição apropriados e otimizar os parâmetros do processo. Os métodos comuns de revestimento incluem evaporação de feixe de elétrons e sputtering magnetron.
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O principal princípio da evaporação do feixe de elétrons: Em um ambiente de alta vácuo, os elétrons de alta energia emitidos pela arma de elétrons bombardearão a superfície do material alvo do ITO sob a ação do campo elétrico e do campo magnético para converter a energia cinética no calor energia, e o material alvo vai se aquecer e se tornar um estado fundido ou evaporar diretamente. , O filme ITO é depositado na superfície do substrato.
O esboço do magnetron pertence à categoria de descarga de brilho e usa o princípio do cátodo que falha para revestimento. As partículas de filme se originam do efeito cátodo de esboço dos íons argônicos no mato-alvo do cátodo ITO na descarga do brilho. Após os íons argônicos caírem os átomos-alvo, eles são depositados na superfície do substrato para formar o filme ITO necessário.