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Einführung von 3 Arten der Laserreinigungstechnologie


Der Laserreinigungsprozess ist grob in 4 Stufen unterteilt, nämlich Laserverdampfung und -zersetzung, Laserstrippen, Wärmeausdehnung von Schadstoffpartikeln, Vibration der Substratoberfläche und Schadstofftrennung. Natürlich müssen wir bei der Anwendung der Laserreinigungstechnologie auch die Laserreinigungsschwelle des zu reinigenden Objekts berücksichtigen und die geeignete Laserwellenlänge auswählen, um den besten Reinigungseffekt zu erzielen. Die Laserreinigung kann die Kornstruktur und Ausrichtung der Substratoberfläche ändern, ohne die Oberfläche des Substrats zu beschädigen, und kann auch die Oberflächenrauheit des Substrats steuern, wodurch die Gesamtleistung der Substratoberfläche verbessert wird. Der Reinigungseffekt wird hauptsächlich durch Faktoren wie die Eigenschaften des Strahls, die physikalischen Parameter des Substrats und des Schmutzmaterials sowie die Fähigkeit des Schmutzes, die Strahlenergie zu absorbieren, beeinflusst.




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Derzeit umfasst die Laserreinigungstechnologie drei Reinigungsmethoden: Trockenlaserreinigungstechnologie, Nasslaserreinigungstechnologie und Laserplasma-Stoßwellentechnologie.

1. Trockene Laserreinigung bedeutet, dass der gepulste Laser direkt bestrahlt wird, um das Werkstück zu reinigen, so dass das Substrat oder die Oberflächenverunreinigungen Energie absorbieren und die Temperatur steigt, was zu einer Wärmeausdehnung oder thermischen Vibration des Substrats führt, wodurch die beiden getrennt werden.
Diese Methode kann grob in zwei Situationen unterteilt werden: Zum einen absorbieren die Oberflächenverunreinigungen den Laser, um sich auszudehnen; Das andere ist, dass das Substrat den Laser absorbiert, um thermische Schwingungen zu erzeugen.
2. Bei der Nasslaserreinigung wird ein Flüssigkeitsfilm auf die Oberfläche vorbeschichtet, bevor der gepulste Laser das zu waschende Werkstück bestrahlt. Unter der Einwirkung des Lasers steigt die Temperatur des Flüssigkeitsfilms schnell an und verdampft. Die Stoßwelle wird im Moment der Verdampfung erzeugt, die auf die Schadstoffpartikel einwirkt. Lassen Sie es vom Untergrund fallen. Dieses Verfahren erfordert, dass das Substrat und der Flüssigkeitsfilm nicht reagieren können, so dass der Umfang der Anwendungsmaterialien begrenzt ist.




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3. Die Laserplasmaschockwelle ist eine sphärische Plasmaschockwelle, die durch Zersetzen des Luftmediums während der Laserbestrahlung erzeugt wird. Die Stoßwelle wirkt auf die Oberfläche des zu waschenden Substrats und setzt Energie frei, um Schadstoffe zu entfernen. Der Laser wirkt nicht auf das Substrat, so dass das Substrat nicht beschädigt wird. Die Laserplasma-Stoßwellenreinigungstechnologie kann jetzt Partikelverunreinigungen mit einer Partikelgröße von mehreren zehn Nanometern reinigen, und die Laserwellenlänge ist unbegrenzt.




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