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레이저 광학 생산 공정

2021-10-30 17:28:52

광학 구성 요소를 자주 사용하는 경우 어떻게 생산되는지 알고 있습니까? 이 기사는 평면, 곡면, 코팅 및 품질 검사 4 가지 측면에서 광학 구성 요소의 생산 공정을 간략하게 소개합니다.

비행기 광학 제조

성형 : 전체 재료를 개별 광학 요소 블랭크로 자르십시오. 평면 기판은 방해석, N-BK7, 융합 실리카, SF11 및 SCHOTT 중립 밀도 유리를 포함한다. 원형 요소의 최대 직경은 10 인치이며 정사각형의 최대 측면 길이는 7 인치입니다.




Telecentric F-Theta 렌즈 융합 실리카


연마 : 광학 요소가 형성된 후, 상부 플레이트가 연마된다. 구성 요소는 참조 패드에 붙어 있고 스트라스버 스핀들 폴리싱 머신으로 연마됩니다. 한 번에 한 표면이 연마됩니다. 기술자는 간섭계 온라인 측정 결과를 기반으로 실시간 조정을 수행합니다. 일반적으로, λ / 10 파면 오차 및 3 내지 5Å의 표면 거칠기가 달성 될 수있다. 느린 정밀 연마는 λ / 40 평탄도 및 1 Å 거칠기를 얻을 수 있습니다.

SpeedFam 양면 폴리싱은 성형 후 일부 구성 요소에 사용되며 수백 개의 구성 요소를 한 번에 폴리싱 할 수 있습니다. 이 장비의 연마 거칠기는 또한 3 ~ 5Å (양면)이며, 병렬 처리는 5 초의 아크 초입니다.


곡선 된 광학 제조

구형 및 비구면 표면
만족스러운 CNC 공작 기계는 2 ~ 150mm에서 직경이있는 렌즈를 생산할 수 있습니다. 기술자는 Zygo 간섭계를 통해 온라인 조정을 모니터링하여 제품이 사양을 충족하는지 확인할 수 있습니다. 렌즈가 올바른 곡률에 도달 한 후에는 에드 및 ​​센터링이 수행됩니다. 우리는 만족식 센터링 공작 기계 도구를 사용하여 축 편차가 5 초의 아크 초까지 낮 으면 대부분의 광학 구성 요소에 대한 3 개의 아크 분 사양 요구 사항을 충족시킵니다.




회절 제한 비구면 표면


QED 자성 자기 연마기는 회절 제한 비구면 렌즈를 생산하는 데 사용됩니다. 이 공정은 연마되는 물질에 따라 55 nm 이내의 표면 정확도를 달성 할 수 있습니다.




비구면 융합 실리카 포커싱 렌즈


금속 기질 : Nanotech Ultra 정밀 단일 포인트 다이아몬드 선반은 금속 곡선 거울 및 특수 재료 중장소를 원적외선 렌즈로 처리 할 수 ​​있습니다. 렌즈 기판 또는 거울은 고속 회전축에 설치되고 원하는 모양과 표면 품질이 도달 할 때까지 회전 할 때 단일 포인트 다이아몬드 선회가 연마되기 시작합니다.

광학 코팅 : 다양한 코팅 장비 및 측정 보조 장비가 있습니다. 코팅 클린 룸은 10,000의 수준으로 유지됩니다. 제조 작업장의 광학 구성 요소는 처음 초음파로 세척 한 다음 코팅기에 넣기 전에 하나씩 검사 및 세정됩니다.

최종 검사 : 품질 관리는 광학 제조의 필수 요소입니다. 모든 광학 구성 요소는 일반적으로 물리적 특성, 광학 성능 및 환경 강도를 측정하는 것을 포함하는 품질 검사를 통과해야합니다.

물리적 매개 변수 테스트에는 직경, 중심 두께, 표면 평탄성, 병렬 처리 및 표면 품질이 있습니다. 광학 성능에는 웨이브 프론트 오류, 초점 거리 및 코팅 성능이 포함됩니다. 환경 테스트에는 레이저 손상 임계 값, 온도 사이클링, 습도 사이클링 및 코팅 강도가 포함될 수 있습니다.